摘 要：开关是信号变换的关键元件。随着MEMS技术的发展，使实现低功耗、隔离度好、工作频带宽的MEMS开关成为现实。在MEMS技术的基础上，分析了MEMS开关技术及其在电路系统中的应用，并着重阐述了射频MEMS的结构及其相关技术特点。
关键词：MEMS；电源滤波器；电磁兼容;EMI
中图分类号：TN303 文献标识码：A
文章编号：1004373X(2008)0114703
Study and Development of MEMS Switch Technique
QU Lixin
(Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun,130033,China)
Abstract：Switch is the key component of signal transition.The MEMS switch of low loss,high isolation and overlarge bandwidth comes true with the development of MEMS technology.The MEMS switch technology and its application is analyzed based on the MEMS technique in the paper.The structure and technique character of RF-MEMS switch are mainly expounded.
Keywords：MEMS;power filter;electromagnetic compatibility;EMI
20世纪50年代以来微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微小型化革命，促使了微系统和纳系统技术的诞生和蓬勃发展。MEMS属于多学科交叉的新领域,是融合微电子与精密机械加工的技术,指毫米级下的可控制、可移动微型机电装置。是集微型机构、传感器信号处理、控制等功能于一体的,具有信息获取、处理和执行等多功能的系统。MEMS 的发展正对科学技术和人类生活产生革命性的影响,MEMS开关就是MEMS技术的具体应用。顾名思义,开关就是来控制电路通断状况的，高效、快速反应、准确、重复使用频率、高可靠性是现代电路系统对开关的特殊要求。MEMS 开关的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson，随后经过了二十几年的发展，由于薄膜的柔软和变形，MEMS开关始终没有取得人们预期的成绩。随着通讯频率的不断增高，现有的半导体开关因不能满足频率的升高而失去开关能力[1-4]。MEMS开关的出现为高科技电路系统的发展提供了有力的保障,他在各个领域的电路控制方面有广泛的应用。
1 MEMS及其技术
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微电子机械系统)始于20 世纪60 年代,加利福尼亚和贝尔实验室开发出微型硅压力传感器,70 年代开发出硅片色谱仪、微型继电器。70～80 年代利用微机械技术制作出多种微小尺寸的机械零部件。1988年UC-Muller小组制作了硅静电马达,1989年NSF召开研讨会,提出了“微电子技术应用于电(子)机系统”。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。他可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。他用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统[1]。微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响，他涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。
MEMS 技术的基本特点主要包括：
尺寸在毫米到微米范围内;
基于硅微加工技术制造;
与微电子芯片类同,可以批量、低成本生产;
